光电子技术的特点范例(3篇)

光电子技术的特点范文

关键词：特种加工；快速成型技术；超声加工；电子束和离子束加工；激光加工

1.特种加工技术的产生和发展

机械加工作为一种有着悠久历史的加工方法，对人类的物质文明和生产活动起到了极大的推动作用。对于工业部门而言，设计出来的零件或者机器必须依赖于加工方法来实现，如果没有行之有效的加工方法，再好的设计思路也无法转化为产品。例如18世纪70年代就有人发明了蒸汽机，但是由于当时的生产设备制造不出有着较高精度和配合要求的蒸汽机气缸，所以一直无法生产出可以正常工作的蒸汽机[1]。直到气缸镗床的出现，才解决了这一生产上的难题，使得蒸汽机获得了广泛的应用，引起了第一次工业革命。因此，我们可以发现，加工方法对于设计思想的实现和社会经济的发展起着多么重大的作用。

随着生产的发展和科学实验的需要，对于产品的要求越来越高，未来的技术产品向着高精度、高速度、重载、高温高压、小型化和高可靠性等方向发展，为了实现这些新的要求，就需要使用新材料和新结构，因此，对机械制造部门也提出了很多新的要求。特种加工正是在这种强烈的社会需求下产生和发展起来的，而它所具有的优于传统机械加工的特点又进一步促使人们对它进行研究和应用，因此，到目前为止，特种加工技术已经有了很多种类，所能达到的加工精度和生产效率也越来越高。可以说，特种加工技术已经成为现代机械制造行业必不可少的一种加工方法。

传统的机械加工利用机械能和切削力对金属进行加工，而特种加工主要利用电能、化学能、光能、声能和热能等能量来去除金属，因此特种加工技术可以用来加工各种高硬度、高强度、高脆性和高韧性的金属或者非金属材料。由于特种加工采用广义上的刀具，例如激光、超声波、电子束和离子束等，所以易于实现加工过程的全自动化，这对于现代化生产的组织和管理有着很重要的意义。

从1943年前苏联鲍﹒洛﹒拉扎林柯夫妇开始研究火花放电腐蚀开关触点的现象开始，特种加工技术已经经历了六十多年的发展。目前，很多特种加工方法都已经发展成熟，例如电火花加工、电火花线切割加工、电化学加工和激光加工等。现在，人们也研究了将特种加工的理论应用于传统的机械加工方法中去的复合加工方法，如振动切削和振动铣削。由于特种加工技术尤其适用于对难加工材料、复杂型面和精密微细表面的加工，所以特种加工有很大的适用性和发展潜力，在刀具、模具、量具、仪器仪表、航天器和微电子元器件等制造中得到越来越广泛的应用。在未来，特种加工将向着提高加工精度和表面质量、提高生产效率和自动化程度、发展复合加工和超精密加工等方向发展。

2.快速成型技术

快速成型技术（RP）是一种增材加工方法，主要用来制造样件，从而可以对新产品的设计进行快速评估、修改和功能实验，能够较大地缩短产品的研制周期。快速成型技术集机械工程、CAD、数控技术、激光技术和材料科学技术于一体，易于实现生产过程的自动化，且高效便捷，因此这种样件制造工艺日益在生产实践中获得应用。按照快速成型技术使用的材料和工艺原理，可以分为四种类型：光敏树脂液相固化成型法（SL）、选择性激光粉末烧结成型（SLS）、薄片分层叠加成型（LOM）、熔丝堆积成型（FDM）。

3.超声加工技术

频率超过16000Hz的声波称为超声波，它是一种纵波，能够传递很强的能量，且当它经过液体介质传播时，会产生液压冲击现象。超声加工技术（USM）利用工具端面作超声频振动，通过磨料悬浮液使得磨粒在超声振动的作用下产生机械撞击、抛磨作用以及超声空化作用来加工脆硬材料。由于超声加工技术的工艺原理和特点，超声加工有很多特殊的应用。例如加工深小孔、拉丝模及型腔模具研磨抛光、对难加工材料的加工、超声振动切削、超声电解复合加工、超声电火花复合加工、超声清洗、超声切割等。超声加工技术与新材料的发展是相辅相成的，在未来，超声加工一定会有更多的应用和发展。

4.电子束和离子束加工

电子束加工（EBM）利用能量密度极高的电子束，以极高的速度冲击工件表面，使动能大部分转化为热能，使得被冲击的工件材料局部熔化和气化，从而达到改变被加工工件材料表面物理化学性质和形状尺寸位置的目的。电子束加工装置包括电子枪、真空系统、控制系统和电源，电子束是由钨或钽制成的发射阴极在加热状态下得到的。由于电子束加工的工艺原理和特点，EBM技术可以用来加工型孔和特殊表面、刻蚀、焊接、热处理以及电子束光刻等。

离子束加工（IBM）利用具有较高能量的离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应来进行不同的加工。由于离子束轰击材料是逐层去除原子，所以可以达到纳米级的加工精度。离子束加工按其工艺原理和目的的不同可以分为三种：用于从工件上去除材料的刻蚀加工、用于给工件表面涂覆的镀层加工以及用于表面改性的离子注入加工。由于电子束和离子束易于实现精确的控制，所以可以实现加工过程的全自动化，但是电子束和离子束的聚焦、偏转等方面还有许多技术问题尚待解决。

5.激光加工

激光技术起始于20世纪60年代，可用于打孔、切割、焊接、热处理以及激光存储等方面。激光的产生源自物质的受激辐射，即某些具有亚稳态能级结构的物质，在一定外来光子能量的激发下，产生所谓的粒子束反转现象，在粒子束反转的状态下，如果有一束能量等于基态与亚稳态能量之差的光子照射该物质，就会产生受激辐射，输出大量的光能。由于激光具有强度高、单色性好、相干性好和方向性好等特点，因此几乎可以用来加工任何材料。目前常用的激光器有固体激光器（红宝石激光器、铷玻璃激光器和掺铷钇铝石榴石激光器）和气体激光器（二氧化碳激光器和氩离子激光器），在生产实践中，对影响激光加工的各个因素还需要进行更加深入的研究，以便更加充分地利用激光加工技术。

6.结束语

近年来，随着新材料、新结构、复杂型面零件、特殊要求零件的需求越来越大，特种加工技术得到了越来越广泛的应用，在未来，随着机电控制技术的进一步提高，特种加工技术将会更加趋于自动化，充分利用计算机技术，可以使得特种加工向着自动化和柔性化方向发展[2]。而在未来，特种加工技术将越来越多的应用于精密微细加工、复合加工和绿色加工。■

参考文献

光电子技术的特点范文篇2

关键词：电子信息技术；应用特点；发展趋势

电子信息技术在当今社会的应用范围广泛，不仅应用于国家的电缆、光纤、通信技术等领域，同时也应用于电脑、手机等设备当中。可以说人们的日常生活已经离不开电子信息技术的应用，电子信息技术的发展让人们的生活更加方便快捷，提高了人们的生活质量。在当今的现代化社会，电子信息技术水平和国家的科技发展是正相关的关系，电子信息技术水平直接影响我国的整体发展，提高电子信息技术水平，在一定程度上能够促进我国整体经济的发展。因此，相关的技术人员要重视电子信息技术的发展，根据当前电子信息技术的应用特点，解决电子信息技术存在的问题，并不断探索电子信息技术新的发展方向，从而保证电子信息技术水平能够有很大的提升。

1电子信息技术的应用特点

自上世纪改革开放以来，我国逐渐重视科学技术的发展，并在近几十年中取得了很大的成就。电子信息技术是我国近代科学研究的重要组成部分，电子信息技术的应用推动了我国整体的发展。电子信息技术自身有很多重要的特点，相关的技术人员要仔细研究并抓住电子信息技术的应用特点，才能更好地为社会发展进步做出贡献。

1.1数字化与网络化

电子信息技术的应用以计算机为载体，人们的思维过程通过语言来表达，同样计算机的运行也离不开语言，为了方便计算机的存储与运算，技术人员采用了二进制语言。二进制语言是将复杂难懂的数据进行量化处理，方便计算机直接接受指令并立即执行。网络通信离不开计算机的数字化处理，而整个网络的运行是以数字为主导的，因此网络离不开数字化。同时，电子信息技术的应用离不开网络，当前网络的类型有很多，比如小型局域网、家庭网络、地区网络、公司企业网络等。数字化是构成网络的基础，而网络化是所有数据的集合，电子信息技术通过数字化与网络化相结合，能够实现各地的信息、存储资源的共享。

1.2自动化

随着信息化社会的不断深入发展，电子信息技术自动化成为判断一个国家是否进入现代化社会的标志。自动化简单来说就是一些机器设备及系统代替人力进行操作，通过电子计算机的信息处理，能够自动控制机器运行。当前电子信息技术的应用领域范围在不断扩大，对于自动化技术的要求越来越高，不再只应用于传统的制造业、小规模的公司企业，而是应用于国防、医疗、科技等领域，通过结合多种技术形式完成电子信息技术的自动化。电子信息技术自动化的普及，替代了一些从事危险工作的人们，一定程度上造福了人类，同时提高了工作效率[1]。

1.3智能化

智能化简单来说是指某种事物或者系统通过计算机大数据的应用，能够满足现代人的需求。因为电子信息技术已经渗透到人们生活的方方面面，为了更好地方便人们的使用，电子信息技术的发展逐渐智能化。比如手机中的定位导航系统，主要是通过计算机云端的大数据分析和GPS的精准定位，从而方便人们快速找到位置。再有近几年频繁出现的无人驾驶汽车，这同样是电子信息技术智能化应用的产物。和传统汽车不同，无人驾驶汽车不需要人来驾驶，而是通过大数据分析与互联网传感技术相结合，从而满足人们的需求。

1.4高效化与快捷化

电子信息技术随着科学技术的发展不断完善，同时也会有其他新的技术不断产生。在不同的领域中，不是仅仅依靠电子信息技术就能完成各种高难度的操作流程的，而是根据实际的需要，将电子信息技术与其他技术相融合，从而高效率完成，达到最优化的结果。电子信息技术在进行应用操作的同时要注重高效化，这样才能更好地发展电子信息技术。随着电子信息技术的不断创新和发展，越来越多的电子产品应运而生为人们带来便利，比如移动通信商品、电脑等。电子信息技术通过大数据的分析及运行，让人们能够通过这些电子设备快捷地找到自己所需要的信息，满足了人们的日常生活需求。可以说电子信息技术的发展，推动了社会整体朝着快捷化的方向发展。

2电子信息技术在未来具体的发展趋势

2.1发展通信技术

具体来说，通信技术包括卫星网络通信技术、光纤传输通信技术、移动通信技术等。当前电子信息技术有着广泛的应用范围，其中在日常生活中人们接触到最多的是移动通信，即手机、固定电话等通信设备。随着科学技术的发展，移动通信技术已经从第二展到了第五代。在现今的互联网时代，越来越多的人使用移动通信设备，这些设备需要通过终端网络进行接入。第四代的移动通信技术难以负荷超高的数据流量，这给整个网络系统带来了极大的挑战。因此，第五代的移动通信技术被提出并开发出来，5G通信技术的数据传输速度比4G要快将近100倍，并且脱离了有线网络的束缚，实现小型的无线局域网模式。5G通信技术不再只限于手机的接入，可以用于企业网络及家庭网络，实现宽带自由。5G通信技术具有超大的网络流量，满足使用移动通信客户的需求，同时能够让人们同步进行高清的视频通话等一些大数据流量传输[2]。当前多个轨道的通信卫星都采用了电子信息技术，并且光纤通信传输的速度随着电子信息技术的发展也在不断加快。光纤通信技术主要是以光波为基础，光纤作为介质传输大数据信息，是现代化通信技术中比较重要的传输方式。光纤通信技术的出现改变了原有电缆通信的传输方式，也是通信技术发展史的重要标志。当前光纤通信技术主要应用于军事雷达、微波及一些安防监控等设施，在日常生活中的无线局域网也有一些采用光纤通信技术，并且有很多无线设备也在不断出现，比如无线路由器、蓝牙耳机等等。

2.2发展智能化家居

当前电子信息技术的应用趋向智能化，随着人们生活质量的提高，越来越多的人追求生活的舒适便捷。因此，人们对日常生活常用的家居有了更高的要求，追求智能化的家居。随着电子信息技术未来发展逐渐趋于成熟，完全可以满足人们的需求。智能化家居简单来说即实现家庭自动化，以家庭住宅为基础，将电子信息技术、安全监控技术及自动控制技术相结合，打造一个舒适、安全、便捷的居住环境。智能化家居包含了家庭自动化、网络家电及信息家电，其中家庭自动化相当于智能化家居的中控设置，是智能家居中的一个重要系统，主要通过集成电路，利用微电子技术控制家庭中的电子设备，比如由人在中央处理器的触摸屏上发送信息，再由中央处理器向家中的电脑、遥控器等设备发送数据信息，这样就形成一个简单的家庭自动化。网络及信息家电简单来说是将电子信息技术应用于生活中常见的家用电器中，利用电子信息技术控制家用电器，让电器变得更加智能化，让人们的生活更加便捷，比如采用数控技术的数控空调、全自动洗衣机、扫地机器人等等。现今智能通信设备逐渐普及，随着未来电子信息技术的发展，智能家电也可以逐渐步入大众生活。智能家电是智能家居的重要组成部分，智能家居作为一个新兴产业，市场的需求份额比较小，智能家居要想在未来适应市场经济，需要和电子信息技术及其他新技术相结合，同时做好智能家居市场的推广工作。

2.3发展光电技术

光电技术简单来说是两个技术的融合，即光子技术和电子技术，电子信息技术有了光电技术的融合能够更快速地发展。光子学是光子技术的基础，随着科学技术的不断提高，相关技术人员对光子学有了进一步的认识，光子学直接影响了现今信息化社会的发展。光子技术的核心是光集成技术，是以集成光学电路为基础的综合技术。现今光子技术主要有光子发生和存储技术、光子开关技术、光子显示及通信技术等。光子技术在现今社会的应用广泛，主要应用于医疗机构、能源、计算机信息等领域。随着光子技术的发展，产生了光子计算机，其运算速度超过当前普通的计算机，同时拥有了存储量极大的光存储设备以及信息传播速度极快的光纤通信，这些都对现今的信息技术研究领域产生了很大的影响。电子技术最早是在十九世纪末开始兴起，在二十世纪初开始发展，其范围逐渐扩大，并且应用的领域越来越多。电子技术是近代的一个新兴技术，同时也标志着近代科学技术的发展。电子技术主要的研究对象是电子器件，同时研究这些电子器件组成电路的具体应用范围。传统的电子技术因为发展不够完善，设备较为落后，只能研究使用低频技术处理的问题，而随着电子信息技术的发展，现代电子技术逐渐趋于成熟，能够研究使用高频技术处理的问题。因此，电子技术的发展离不开电子信息技术的应用，电子技术逐渐步入人们的生活，能够满足人们的需求，进而提高人们的生活质量。电子信息技术未来的发展趋势同样离不开电子技术，电子技术连接了信息产业和传统产业，能够真正提高生产效率，促进社会整体经济的快速发展[3]。

2.4发展集成电路

随着电子信息技术的不断发展，集成电路也逐渐趋于稳定，并且不断完善。集成电路的出现标志着传统微电子技术的转变，同时集成电路技术是一些高科技产品的标志。集成电路在人们的实际生活中应用十分广泛，比如计算机的内核处理器、ATM机、银行卡、POS机等等，可以说人们的生活已经离不开集成电路技术，该技术与人们的日常生活紧密联系在一起，更好地为人们进行服务[4]。集成电路的出现带来了很多影响：一方面，集成电路的使用减少了元器件的消耗，降低了生产成本，并且针对一些小规模的元器件，提高了生产技术。另一方面，集成电路由多个元器件构成，在抗干扰能力上有很大的提升，同时优化了电路设计，提高了集成电路的传播速度。最后，因为一种电路对应一种功能，而集成电路是多个电路的集合，同时具备了多种功能，为企业的生产提供了便利。

3结束语

随着信息化社会的不断深入，电子信息技术也在不断发展和完善，电子信息技术以其网络化和数字化、自动化、智能化、高效化的优势，给人们的生活带来了很多便利，同时也为一些科技企业提高了生产效率，降低了生产成本。因此，电子信息技术未来的发展方向主要是四个方面：完善通信技术、发展智能化、发展集成电路以及发展光电技术，这就需要相关的技术人员不断克服困难，积累更多的经验进行研究，在未来抓住信息技术发展的机会，才能更好地提高电子信息技术的水平，为社会创造更多的经济效益。现今集成电路在很多重要的领域都有应用，因此受到相关科学研究技术人员的重点关注，未来电子信息技术的发展要朝着集成电路这一方向深入发展。

参考文献：

[1]熊美.电子信息技术的应用特点与未来发展趋势研究[J].电脑知识与技术，2022，16（8）：264-265.

[2]宋鹏，雷先华.电子信息技术的应用特点与未来发展趋势分析[J].信息与电脑（理论版），2022，32（21）：166-168.

[3]张波，晋美郎杰，冯江波，等.电子信息技术的应用特点和未来发展趋势[J].中国航班，2019（12）：1.

光电子技术的特点范文

（一）LIGA技术的原理

LIGA技术是利用较大功率同步加速器产生的X射线，经过X-ray光刻，光阻投影形成人工塑料微型结构，然后经过电铸制模形成金属模具，最后经过铸模复制形成所需的塑料产品。其工艺流程为：1、同步X-ray曝光光刻的条件有同步X射线和铜掩模板，铜掩模板由吸收体、掩膜支撑体、光刻胶和铜板基片组成，利用同步辐射X射线产生的二维图形投射到铜掩模板，吸收体吸收X射线的能量，转移到光刻胶上，通过控制单点光束的强度，刻蚀一定深宽比的三维图形。

2、光刻显影

利用光刻胶易被X射线降解的原理，即经过X射线曝光光刻胶的分子长键发生断裂，大分子变成小分子，然后将被曝光的光刻胶放到显影液中处理，被曝光降解的光刻胶的小分子溶解在显影液中，没有被曝光的光刻胶的大分子则不溶于显影液，因此形成了与掩膜图形一致的三维光刻胶微结构。

3、电铸制模

显影结束后，在三维光刻胶微结构的空隙中填充铜镍铁等金属，使三维光刻胶被金属完全覆盖，作为阳极，铜板基片作为阴极，然后施加电场。阳极金属在电场的作用下，剥离电子，以金属离子的形式进入电铸液，在电场作用下向阴极移动，当金属离子接触到阴极时，得到电子并附着在阴极上，沉积完毕后得到与光刻胶互补的金属结构。但显影后的三维光刻胶的电铸孔较深，空隙微小，受电铸液的表面张力影响较大，仅依靠重力电铸液很难全部流入微孔中，因此需要特殊的电铸工艺，保证电铸液顺利流入微孔的同时，电铸出来的微型结构无内应力。目前克服电铸液表面张力的办法有：采用脉冲电源，在电铸液中添加适量的表面抗张力剂，或利用超声波技术，增加电铸液金属离子的对流。

4、注塑复制

电铸结束后，形成了金属微结构，将其作为注塑的模板，采用模压成型、快速注塑成型等技术，脱模后得到需要的塑料结构，符合工业上大批量生产要求，降低成本。

（二）LIGA模具制作技术的特点及应用

1、LIGA加工模具的优点

取材广泛，可以是金属、陶瓷、聚合物、玻璃等，可制造有较大深宽比的微结构；可制作复杂图形结构，精度高，加工精度可达0.1μm；可重复复制，符合工业上大批量生产要求，成本低。

2、LIGA加工模具的缺点

使用同步X射线仪，价格昂贵，加工成本高；对于含有曲面、斜面的微型模具加工难度大，且口小肚大的腔体难以进行光刻、电铸；高密度微尖阵列的微器件要求的光刻分辨率高，也难以加工。

3、LIGA加工微模具的应用

微米尺度的微齿轮、微传感器、微光学元件、微制动器等多种结构器件。

（三）LIGA加工模具的发展趋势

1、具有较强和较广泛为的材料加工，解决含有曲面、斜坡等难加工的模具技工技术，真正具备三维加工能力，使LIGA加工更加灵活多样；

2、加工设备成熟、更加智能化，简化加工工艺，提高加工效率，降低生产成本；

（四）准LIGA技术

准LIGA技术是指无需利用价格昂贵的同步X射线仪以及光刻胶，采用激光或紫外线代替同步X射线，对光敏材料（如SU-8负型胶）曝光，经过显影后形成微三维结构，然后经过电铸、去硅、铸塑成型，得到所需的微型模具。其优点为：工艺简单、成本低廉、加工周期短。

1、激光烧逐（Laster-LIGA）技术

采用一定波长的准分子激光器，直接消融光敏材料，无需经过曝光和显影，简化了制作流程，提高了制作效率，其精度也可达到微米级。

2、UV-LIGA技术

用深紫外光的深度曝光来取代LIGA工艺中的同步x射线深度曝光，它可以用于刻蚀适中厚度的光刻胶，节省成本。

3、DEM微模具制作技术

DEM技术是由上海交通大学和北京大学联合研发出的准LIGA技术，其原理是利用感应耦合等离子体设备，发出紫外光对氧化过的低阻硅片进行深层刻蚀，然后用ICP刻蚀机对硅深层的刻蚀，经过氧化得到三维光刻间隙，然后电铸得到金属微型机构，再使用氢氧化钾溶液将硅腐蚀掉，从而得到微复制模具，再经过压膜或注塑得到需要的塑料产品。优点：设备价格低、加工周期短、兼容性好、可操作性强、产业化强；缺点：由于硅是半导体，硅片导电能力差，很难做到直接在硅片上直接电铸，且加工深宽比不如LIGA技术。

二、细微加工微模具技术

1、精密机械加工技

精密机械加工微模具的方法起源于日本，利用精密的数控加工中心，通过把微型模具结构的图形，换算成数控代码，加工中心使用刀具加工成需要的产品。这种加工方法对加工材料有一定得选择性，同时加工的精度受限，一般不适合高精微模具的加工，但已成功地制作出尺寸在10-100μm的微小三维构件。

2、微细电火花模具加工技术

微细电火花加工的原理和普通电火花加工原理类似，当工件和工具电极相互靠近时，在电场作用下，击穿电解液，发生放电，产生瞬时高温经工件表面金属熔化、汽化，从而达到蚀去工件金属的目的。影响微模具的加工精度的原因很多，如工具电极的制作工艺和制作精度、微小能量放电电源间隔脉冲和放电时间、细微电极的微量伺服进给大小、加工状态的检测和反馈、系统的操作控制精度、加工工艺、操作技术等，电极尖端越细，电源放电的单脉冲能量越小、伺服进给量越小、传感器检测越灵敏，电火花的加工精度越高。目前微细电火花加工的最大难题是微细电极的加工，尤其是特殊形状的微细电极，加工微细电极的有效方法有单发放点微细电极成形法，反拷法加工微细陈列电极，原位孔微细电火花磨削法，LIGA制作微细电极。微细电火花可以进行二维和三维的加工，二维加工精度可以达到纳米尺度，采用专门的微细电火花铣削CAD/CAM体统，可以加工高精的三维自由曲面。在实际加工中，往往电极的损耗很大，严重地影响加工精度。因此合理地进行加工轨迹的规划并进行电极损耗的补偿，是提高微细三维结构电火花加工精度的核心技术。目前最新的微细电火花加工工艺有集束电极加工、近干式电火花加工、曲线孔点火花加工和超硬磨料砂轮电加工修整加工。

3、微细电解加工技术

微细电解加工是利用金属产生阳极溶解原理将工件加工成型的一种工艺方法。按原理分两类：基于阴极沉积原理的增材制造技术，如精密电铸、电刷镀等；基于阳极溶解原理的减材制造技术，如电解加工、电抛光等。加工过程都以离子形式进行，由于离子的尺寸非常微小，因此电化学制造技术的这种微去除方式使得它在微细制造领域，以至于纳米制造领域有着很大的发展潜能。微细电解加工的特点：加工范围广，不受材料物理性能的影响；无残余应力，没有飞边、毛刺，表面粗糙度可达0.2-1.6μm，表面质量好；工具无损耗。

4、微细电铸加工技术

工艺：设计制造铸模导电层、分离层处理电沉积金属脱模和背衬处理。特点：极高的复制精度和重复精度；适用范围广，广泛用于具有精密、复杂内型面零件的制造；电铸制品性能的可控性强，通过改变金属种类、电铸液配方和工艺参数，或采取使用添加剂等措施，电铸制品的力学性能和物理性能可在很大范围内变化；成本低。设备投资较少，加工余量较小，废品可作为阳极材料重新使用，铸模和电铸液也可重复使用。局限性：铸层质量不稳定；由于电场分布极不均匀，导致铸层均匀性差；加工时间长，效率低；材料限制。

5、微细高能束流加工技术

微细高能束加工包括激光加工、电子束加工和离子束加工。

（1）激光加工技术

原理：利用激光能量密度高、方向性好的特点，将光能转变为热能来蚀除材料。特点：加工材料广泛；加工速度快；可以聚焦到微米尺度，可以进行高精模具的二维和三维加工；激光的位置可控性和过程可控性好，加工对象的材料、形状、尺寸和加工环境的自由度都很大，特别适用于自动化加工；将CAD、CAM、CNC、激光、精密伺服驱动和新材料等先进技术集成，组成激光快速成型技术。

（2）电子束加工微模具技术

原理：利用电子的高速运动冲击工件，使动能转变为热能加工材料。特点：束径小、能量密度高，适合精微加工生产效率高，适用材料广泛；加工过程快，工件变形小；无加工污染，自动化程度高；真空环境工作，价格昂贵。用途：穿孔、刻槽、焊接、镀膜和光刻等领域。

（3）离子束加工技术